(19)
(11) EP 4 441 775 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2024  Patentblatt  2024/41

(21) Anmeldenummer: 22851020.2

(22) Anmeldetag:  23.12.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
H01L 21/762(2006.01)
 H01L 21/18(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 21/185
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/000115
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/147835 (10.08.2023 Gazette  2023/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 03.02.2022 DE 102022000424

(71) Anmelder: AZUR SPACE Solar Power GmbH
74072 Heilbronn (DE)

(72) Erfinder:
  • NISHIKAWA, Atsushi
    01279 Dresden (DE)
  • LÖSING, Alexander
    59555 Lippstadt (DE)

(74) Vertreter: Koch Müller Patentanwaltsgesellschaft mbH 
Maaßstraße 32/1
69123 Heidelberg
69123 Heidelberg (DE)

   


(54) HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE HALBLEITERSCHEIBE MIT SILIZIUM UND MIT EINER III-N-SCHICHT