(19)
(11) EP 4 444 929 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.10.2024  Patentblatt  2024/42

(21) Anmeldenummer: 23704756.8

(22) Anmeldetag:  09.02.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/3407; C23C 14/56; H01J 37/3441; H01J 37/345; H01J 37/3435; H01J 37/3288
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/053197
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/174620 (21.09.2023 Gazette  2023/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.03.2022 DE 102022000936

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • HEILAND, Ralf
    65187 Wiesbaden (DE)
  • RUPPEL, Andreas
    35510 Butzbach (DE)
  • KEMPF, Stefan
    63755 Alzenau (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB 
Siebertstrasse 3
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSMODUL MIT VERBESSERTER KATHODENANORDNUNG