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(11) | EP 4 446 587 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | MIKROMEMBRANPUMPEINRICHTUNG |
(57) Vorgeschlagen wird eine Mikromembranpumpeinrichtung zum Pumpen eines Fluids. Die
Mikromembranpumpeinrichtung weist auf: eine Pumpkammer, welcher ein Einlassventil zum Einlassen des Fluids in die Pumpkammer, ein Auslassventil zum Auslassen des Fluids aus der Pumpkammer und eine Membraneinrichtung zum Variieren eines Volumens der Pump-kammer zugeordnet ist, wobei die Membraneinrichtung einen plattenförmigen Aktor zum Verformen der Membraneinrichtung aufweist; und eine Beeinflussungseinrichtung zum Beeinflussen des plattenförmigen Aktors, um so das Volumen der Pumpkammer zu beeinflussen; wobei die Membraneinrichtung einen die Pumpkammer begrenzenden platten-förmigen Membrankörper aufweist; wobei der plattenförmige Aktor auf einer der Pumpkammer abgewandten Seite des plattenförmigen Membrankörpers angeordnet ist; wobei der plattenförmige Aktor mittels einer elektrisch isolierenden Kleberschicht an dem plattenförmigen Membrankörper befestigt ist, so dass der plattenförmige Aktor elektrisch isoliert gegenüber dem Membrankörper ist; wobei innerhalb der elektrisch isolierenden Kleberschicht zumindest ein eingebetteter Abschnitt eines Trägerkörpers angeordnet ist, an welchem oder in welchem ein Verformungssensor zur Erfassung einer Verformung der Membraneinrichtung angeordnet ist, um so das Volumen der Pumpkammer zu erfassen; wobei die Beeinflussungseinrichtung, der plattenförmige Aktor und der Verformungssensor einen geschlossenen Regelkreis zur Regelung eines Volumen-stroms der Mikromembranpumpeinrichtung bilden. |