(19)
(11) EP 4 448 825 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2024  Patentblatt  2024/43

(21) Anmeldenummer: 22813089.4

(22) Anmeldetag:  14.10.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/12(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
C23C 16/54(2006.01)
C23C 16/455(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
C23C 16/452(2006.01)
B05D 1/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/12; C23C 14/562; C23C 14/564; C23C 14/541; C23C 16/4401; C23C 16/4412; C23C 16/545; C23C 16/452; C23C 16/45591; B05D 1/60; B05D 2252/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/078632
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/110188 (22.06.2023 Gazette  2023/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.12.2021 DE 102021133627

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • TÖRKER, Emmy
    01109 Dresden (DE)
  • SELBMANN, Franz
    09126 Chemnitz (DE)
  • TOP, Michiel
    01277 Dresden (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES BANDFÖRMIGEN SUBSTRATES MIT EINER PARYLENE-SCHICHT