(19)
(11) EP 4 448 833 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2024  Patentblatt  2024/43

(21) Anmeldenummer: 22829735.4

(22) Anmeldetag:  01.12.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/30(2006.01)
 C23C 16/44(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/4405; C23C 16/301; C23C 16/303
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/084088
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/099674 (08.06.2023 Gazette  2023/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 03.12.2021 DE 102021131983
10.06.2022 DE 102022114717

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • MICCOLI, Ilio
    52134 Herzogenrath (DE)
  • LARHRIB, Hassan
    52134 Herzogenrath (DE)
  • LEHNEN, Peer
    52499 Baesweiler (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN EINER EIN ELEMENT DER V. HAUPTGRUPPE ENTHALTENEN SCHICHT IN EINER PROZESSKAMMER UND ANSCHLIESSENDEM REINIGEN DER PROZESSKAMMER