(19)
(11) EP 4 453 997 A1

(12)

(43) Date de publication:
30.10.2024  Bulletin  2024/44

(21) Numéro de dépôt: 22836247.1

(22) Date de dépôt:  19.12.2022
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/18(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/187
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2022/086785
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/117997 (29.06.2023 Gazette  2023/26)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 24.12.2021 FR 2114488
21.02.2022 FR 2201495

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • SOITEC
    38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • SALVETAT, Thierry
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • BERRE, Guillaume
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • DARRAS, François-Xavier
    38140 APRIEU (FR)

(74) Mandataire: INNOV-GROUP 
209 Avenue Berthelot
69007 Lyon
69007 Lyon (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE SUBSTRATS DEMONTABLES