(57) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Gehäuse
mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, einem ersten Pumpmechanismus mit
zumindest einer turbomolekularen Pumpstufe in dem Gehäuse, einem stromabwärts des
ersten Pumpmechanismus befindlichen zweiten Pumpmechanismus mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe
in dem Gehäuse und einem eine Rotorwelle umfassenden Rotor für sowohl den ersten Pumpmechanismus
als auch den zweiten Pumpmechanismus, und einem Elektromotor zum Antrieb der Rotorwelle.
Der Elektromotor ist innerhalb des zweiten Pumpmechanismus in einem Motorraum angeordnet,
der von einer zylindrischen Trennwand umgeben und auf der dem ersten Pumpmechanismus
zugewandten Seite durch eine sich radial erstreckende Trennwand begrenzt ist, die
den Rotor unter Bildung eines Ringspalts umgibt. Die Rotorwelle erstreckt sich ausgehend
von dem ersten Pumpmechanismus durch den zweiten Pumpmechanismus sowie durch den Motorraum
bis zu einem Ende, das mittels eines Wälzlagers in dem Gehäuse gelagert ist. Das Gehäuse
weist zumindest einen Sperrgasanschluss zur Einleitung eines Sperrgases zum Schutz
des Elektromotors auf. In der zylindrischen Trennwand ist ein Zuströmkanal ausgebildet
ist, der einerseits mit dem Sperrgasanschluss und andererseits über einen Strömungswegs
mit dem Ringraum in Fluidverbindung steht.
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