(19)

(11)

EP 4 469 616 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.12.2024  Patentblatt  2024/49 (21) Anmeldenummer: 22821920.0 (22) Anmeldetag:  22.11.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/52(2006.01) C23C 14/56(2006.01) G01J 5/00(2022.01) H01L 21/67(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 14/52; C23C 14/56; H01L 21/67259; H01L 21/6776 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/082807 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/143772 (03.08.2023 Gazette  2023/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.01.2022 DE 102022200914 (71) Anmelder: Singulus Technologies AG 63796 Kahl am Main (DE)	(72) Erfinder: BORODIN, Sergiy 63741 Aschaffenburg (DE) (74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB  Siebertstrasse 3 81675 München 81675 München (DE)