(19)

(11)

EP 4 469 765 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.12.2024  Patentblatt  2024/49 (21) Anmeldenummer: 23702411.2 (22) Anmeldetag:  25.01.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 5/00(2022.01) H01L 21/67(2006.01) G01J 5/80(2022.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G01J 5/0007; G01J 5/802; G01J 2005/0074; H01L 21/67248; H01L 21/68771; H01L 21/68764; H01L 21/67103 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/051819 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/144213 (03.08.2023 Gazette  2023/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 26.01.2022 DE 102022101806 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: HEYDHAUSEN, Dirk 52080 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)