(19)
(11) EP 4 470 030 A1

(12)

(43) Date de publication:
04.12.2024  Bulletin  2024/49

(21) Numéro de dépôt: 23706407.6

(22) Date de dépôt:  27.01.2023
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/304(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02005; H01L 21/02013
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2023/050109
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/144493 (03.08.2023 Gazette  2023/31)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 28.01.2022 FR 2200766

(71) Demandeur: SOITEC
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • QUINTERO-COLMENARES, Andrea
    38190 BERNIN (FR)
  • ALLIBERT, Frédéric
    38190 BERNIN (FR)
  • DROUIN, Alexis
    38190 BERNIN (FR)
  • ROUCHIER, Séverin
    38190 BERNIN (FR)
  • SCHWARZENBACH, Walter
    38190 BERNIN (FR)
  • BIARD, Hugo
    38190 BERNIN (FR)
  • KABELAAN, Loïc
    38190 BERNIN (FR)
  • KONONCHUK, Oleg
    38190 BERNIN (FR)
  • ODOUL, Sidoine
    38190 BERNIN (FR)
  • ROI, Jérémy
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PLAQUETTE DE P-SIC NON DÉFORMABLE