(19)
(11) EP 4 476 763 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.12.2024  Patentblatt  2024/51

(21) Anmeldenummer: 23704912.7

(22) Anmeldetag:  10.02.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/683(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 2221/68327; H01L 21/6836
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/053263
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/152264 (17.08.2023 Gazette  2023/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 10.02.2022 DE 102022201365

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil Der Stadt (DE)
  • PODBIEL, Daniel Sebastian
    71277 Rutesheim (DE)

   


(54) WAFER-VEREINZELUNGSFOLIE