(19)

(11)

EP 4 476 763 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.12.2024  Patentblatt  2024/51 (21) Anmeldenummer: 23704912.7 (22) Anmeldetag:  10.02.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 2221/68327; H01L 21/6836 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/053263 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/152264 (17.08.2023 Gazette  2023/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 10.02.2022 DE 102022201365 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: LAERMER, Franz 71263 Weil Der Stadt (DE) PODBIEL, Daniel Sebastian 71277 Rutesheim (DE)