(19)
(11) EP 4 479 719 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.12.2024  Patentblatt  2024/52

(21) Anmeldenummer: 23704735.2

(22) Anmeldetag:  08.02.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 1/14(2006.01)
B81B 3/00(2006.01)
G01L 9/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01L 9/0072; G01L 9/0047; B81C 1/00166; B81B 2201/0264
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/053102
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/156272 (24.08.2023 Gazette  2023/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 16.02.2022 DE 102022201590

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SENZ, Volkmar
    72555 Metzingen (DE)
  • LUKACS, Ferenc
    1089 Budapest (HU)

   


(54) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR MIT HERSTELLUNGSVERFAHREN UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG EINER DRUCKGRÖßE