(19)
(11) EP 4 479 993 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.12.2024  Patentblatt  2024/52

(21) Anmeldenummer: 22710306.6

(22) Anmeldetag:  15.02.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H05H 1/46(2006.01)
H02M 3/22(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/32027; H01J 37/32055; H01J 37/32045; H01J 37/32073; H01J 37/32064; H05H 2242/22; H02M 3/01; H02M 3/33573; H02M 7/103; H02M 1/007; H02M 3/156
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/053608
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/155969 (24.08.2023 Gazette  2023/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Cyclize GmbH
70771 Leinfelden-Echterdingen (DE)

(72) Erfinder:
  • RENNINGER, Stephan
    70199 Stuttgart (DE)
  • LAMBARTH, Maike
    70199 Stuttgart (DE)
  • STEIN, Jan Samuel
    70771 Leinfelden-Echterdingen (DE)
  • BIRKE, Kai Peter
    71131 Jettingen (DE)

(74) Vertreter: Okoampah, Rene 
df-mp Dörries Frank-Molnia & Pohlman Patentanwälte Rechtsanwälte PartG mbB Theatinerstraße 16
80333 München
80333 München (DE)

   


(54) SCHALTUNGSANORDNUNG FÜR EINE PLASMAQUELLE ZUR ERZEUGUNG VON PLASMA BEI ATMOSPHÄRENDRUCK