(19)

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EP 4 479 997 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 25.12.2024  Patentblatt  2024/52 (21) Anmeldenummer: 23719301.6 (22) Anmeldetag:  05.04.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/48(2006.01) B22F 7/06(2006.01) B22F 10/28(2021.01) B33Y 40/20(2020.01) H01L 23/373(2006.01) B22F 7/08(2006.01) B33Y 80/00(2015.01) H01L 23/42(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : B33Y 80/00; B22F 10/28; B22F 7/08; B22F 7/064; B33Y 40/20; H01L 21/4882; H01L 23/3735; H01L 23/42 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/058999 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/208553 (02.11.2023 Gazette  2023/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 26.04.2022 EP 22170041 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: JESKE, Nora 10555 Berlin (DE) (74) Vertreter: Siemens Patent Attorneys  Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)