(19)
(11) EP 4 479 999 A1

(12)

(43) Date de publication:
25.12.2024  Bulletin  2024/52

(21) Numéro de dépôt: 23713702.1

(22) Date de dépôt:  14.02.2023
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/66(2006.01)
 H01L 21/18(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 22/12; H01L 21/185
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2023/050192
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/152458 (17.08.2023 Gazette  2023/33)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 14.02.2022 FR 2201270

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • SOITEC
    38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • MAZEN, Frédéric
    38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR)
  • RIEUTORD, François
    38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR)
  • TARDIF, Samuel
    38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR)
  • LANDRU, Didier
    38190 BERNIN (FR)
  • KONONCHUK, Oleg
    38190 BERNIN (FR)
  • BEN MOHAMED, Nadia
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Brevalex 
Tour Trinity 1 B Place de la Défense
92400 Courbevoie
92400 Courbevoie (FR)

   


(54) PROCEDE DE SUIVI DE FRAGILISATION D'UNE INTERFACE ENTRE UN SUBSTRAT ET UNE COUCHE ET DISPOSITIF PERMETTANT UN TEL SUIVI