(19)

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EP 4 483 130 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 01.01.2025  Patentblatt  2025/01 (21) Anmeldenummer: 23702256.1 (22) Anmeldetag:  25.01.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 9/02091(2022.01) G01B 11/30(2006.01) G01B 9/02055(2022.01) H01L 21/66(2006.01) G02B 26/10(2006.01) G01B 11/06(2006.01) G02B 7/182(2021.01) G01B 21/04(2006.01) G02B 26/08(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G01B 9/02091; G01B 11/06; G01B 11/306; G01B 9/02072; G01B 21/045; H01L 22/12; G02B 26/101 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/051736 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/160928 (31.08.2023 Gazette  2023/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 24.02.2022 DE 102022104416 (71) Anmelder: Precitec Optronik GmbH 63263 Neu-Isenburg (DE)	(72) Erfinder: WEISS, Stephan 63110 Rodgau (DE) MIETH, Simon 60599 Frankfurt am Main (DE) WEIGELT, Corinna 63225 Langen (DE) BECK, Tobias 63150 Heusenstamm (DE) (74) Vertreter: Ostertag & Partner Patentanwälte mbB  Azenbergstraße 35 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)