(19)
(11) EP 4 495 428 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.06.2025  Patentblatt  2025/25

(43) Veröffentlichungstag A2:
22.01.2025  Patentblatt  2025/04

(21) Anmeldenummer: 24217798.8

(22) Anmeldetag:  05.12.2024
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 29/58(2006.01)
 F04D 25/08(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
F04D 19/04; F04D 19/042; F04D 19/044; F04D 29/584; F05D 2260/22141; F04D 25/08; F05D 2250/51
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
GE KH MA MD TN

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHWEIGHÖFER, Michael
    35641 Schöffengrund (DE)
  • HOFMANN, Jan
    35305 Grünberg (DE)
  • BIRKENFELD, Maximilian
    35649 Bischoffen (DE)

(74) Vertreter: Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPSYSTEM MIT ELEKTRISCH BETRIEBENER KÜHLEINRICHTUNG


(57) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Pumpsystem mit einer Turbomolekularvakuumpumpe, die ein Gehäuse mit zumindest einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, einen ersten von einer Rotorwelle angetriebenen Pumpmechanismus mit zumindest einer turbomolekularen Pumpstufe in dem Gehäuse und einen stromabwärts des ersten Pumpmechanismus befindlichen zweiten von der Rotorwelle angetriebenen Pumpmechanismus in dem Gehäuse umfasst, der nach einem anderen Pumpprinzip wie der erste Pumpmechanismus arbeitet. Der erste und der zweite Pumpmechanismus sind zur gemeinsamen Förderung eines Prozessgases von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass entlang der Rotorwelle angeordnet und in axialer Richtung zwischen dem zumindest einen Pumpeneinlass und dem Pumpenauslass gelegen. Das Pumpsystem umfasst zur Kühlung des Gehäuses ferner zumindest eine elektrisch betriebene Kühleinrichtung, die sich in axialer Richtung bezüglich des zweiten Pumpmechanismus auf der dem ersten Pumpmechanismus zugewandten Seite des zweiten Pumpmechanismus befindet.







Recherchenbericht









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