(19)
(11) EP 4 496 909 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.01.2025  Patentblatt  2025/05

(21) Anmeldenummer: 23707883.7

(22) Anmeldetag:  22.02.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
 C23C 14/34(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/0036; C23C 14/3407; H01J 37/3447; C23C 14/564
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/054345
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/179997 (28.09.2023 Gazette  2023/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.03.2022 DE 102022106546
03.11.2022 DE 102022129012

(71) Anmelder: FHR Anlagenbau GmbH
01458 Ottendorf-Okrilla (DE)

(72) Erfinder:
  • HAEBERLEIN, Sven
    01458 Ottendorf-Okrilla (DE)
  • SCHUELER, Marcus
    01705 Freital (DE)
  • KLUGE, Peggy
    01896 Lichtenberg (DE)
  • HESSE, Gregor
    01465 Langebrück (DE)

(74) Vertreter: Querner, Yvonne Anne 
Chemnitzer Straße 105
01187 Dresden
01187 Dresden (DE)

   


(54) SHUTTERSYSTEM ZUM SPALTFREIEN ABSCHIRMEN EINER BESCHICHTUNGSQUELLE UND ZUGEHÖRIGES VERFAHREN