(19)
(11) EP 4 500 584 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.02.2025  Patentblatt  2025/06

(21) Anmeldenummer: 22718617.8

(22) Anmeldetag:  25.03.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/78(2006.01)
 H01L 21/683(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/7806; H01L 21/6835; H01L 2221/6835; H01L 21/6836; H01L 2221/68363; H01L 25/0657; H01L 25/50; H01L 2225/06541; H01L 2224/80895; H01L 2224/80896; H01L 2224/80006; H01L 2224/94; H01L 2221/68381
 
C-Sets :
  1. H01L 2224/80895, H01L 2924/00014;
  2. H01L 2224/80896, H01L 2924/00014;
  3. H01L 2224/94, H01L 2224/80001;
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/057867
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/179868 (28.09.2023 Gazette  2023/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • WIMPLINGER, Markus
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • UHRMANN, Thomas
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • BURGGRAF, Jürgen
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • POVAZAY, Boris
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • THALLNER, Bernhard
    4782 St. Florian am Inn (AT)

(74) Vertreter: Kaldewey, Tim Merlin et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) VERFAHREN UND SUBSTRATSYSTEM ZUM TRENNEN VON TRÄGERSUBSTRATEN