(19)

(11)

EP 4 500 587 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.02.2025  Patentblatt  2025/06 (21) Anmeldenummer: 23726899.0 (22) Anmeldetag:  10.05.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/40(2006.01) H01L 23/492(2006.01) H01L 23/495(2006.01) H01L 23/433(2006.01) H01L 23/373(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 23/433; H01L 23/4006; H01L 23/492; H01L 23/49568; H01L 23/49562; H01L 23/3731; H01L 23/3737 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/062337 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/247103 (28.12.2023 Gazette  2023/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 20.06.2022 EP 22179922 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HENSLER, Alexander 91466 Gerhardshofen (DE) STROGIES, Jörg 14163 Berlin (DE) HEIMANN, Matthias 14469 Potsdam (DE) MÜLLER, Bernd 16259 Falkenberg (DE) OSCHMANN, Philipp 91058 Erlangen (DE) PFEFFERLEIN, Stefan 90562 Heroldsberg (DE) (74) Vertreter: Siemens Patent Attorneys  Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)