(19)

(11)

EP 4 515 306 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.03.2025  Patentblatt  2025/10 (21) Anmeldenummer: 23722303.7 (22) Anmeldetag:  25.04.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G02B 5/08(2006.01) G02B 7/182(2021.01) G02B 5/10(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G02B 5/10; G02B 7/182; G02B 5/0891 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/060749 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/208894 (02.11.2023 Gazette  2023/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.04.2022 DE 102022204268 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: IRTENKAUF, Thomas 73434 Aalen (DE) GRUNER, Toralf 73433 Aalen (DE) (74) Vertreter: Horn Kleimann Waitzhofer Schmid-Dreyer Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB  Theresienhöhe 12 80339 München 80339 München (DE)