(19)

(11)

EP 4 519 031 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.03.2025  Patentblatt  2025/11 (21) Anmeldenummer: 23707276.4 (22) Anmeldetag:  14.02.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B08B 9/04(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67028; H01L 21/67051; B08B 9/04 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/053616 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/213456 (09.11.2023 Gazette  2023/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 06.05.2022 DE 102022111370 07.09.2022 DE 102022122723 (71) Anmelder: GSEC GERMAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT COMPANY GMBH 78315 Radolfzell am Bodensee (DE)	(72) Erfinder: SCHIENLE, Frank 79111 Freiburg (DE) (74) Vertreter: Walther Bayer Faber Patentanwälte PartGmbB  Heimradstraße 2 34130 Kassel 34130 Kassel (DE)