(19)
(11) EP 4 523 239 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.03.2025  Patentblatt  2025/12

(21) Anmeldenummer: 23724300.1

(22) Anmeldetag:  09.05.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/32174; H01J 37/32183; H01J 37/32899; H01J 37/32935
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/062199
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/217739 (16.11.2023 Gazette  2023/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 09.05.2022 DE 102022111529

(71) Anmelder: TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG
79111 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • ENGELSTÄDTER, Jan Peter
    79294 Sölden (DE)
  • EHINGER, Michael
    77933 Lahr (DE)
  • REICHENBACH, Felix
    79111 Freiburg (DE)
  • GAJEWSKI, Wojciech
    03-982 Warschau (PL)

(74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung 
Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE)

   


(54) STROMVERSORGUNGSANORDNUNG, PLASMAERZEUGUNGSEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR STEUERUNG MEHRERER PLASMAPROZESSE