(19)
(11) EP 4 527 153 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.03.2025  Patentblatt  2025/13

(21) Anmeldenummer: 23728639.8

(22) Anmeldetag:  15.05.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/54(2006.01)
H05H 1/46(2006.01)
F03H 1/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H05H 1/54; H05H 2007/082; F03H 1/0081; H05H 1/4652
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/063017
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/222626 (23.11.2023 Gazette  2023/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 16.05.2022 DE 102022112149

(71) Anmelder: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.
04318 Leipzig (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOLZE, Frank
    04318 Leipzig (DE)
  • PIETAG, Fred
    04318 Leipzig (DE)
  • SPEMANN, Daniel
    04318 Leipzig (DE)
  • WOYCIECHOWSKI, Ronny
    04318 Leipzig (DE)

(74) Vertreter: Hecht, Jan-David 
Patentanwaltskanzlei Dr. Hecht Ranstädter Steinweg 28
04109 Leipzig
04109 Leipzig (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR IONENERZEUGUNG DURCH EIN PLASMA