(19)

(11)

EP 4 529 687 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.04.2025  Bulletin  2025/14 (21) Numéro de dépôt: 23729059.8 (22) Date de dépôt:  23.05.2023

(51) Int. Cl.:  H01L 21/67(2006.01) B81C 99/00(2010.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : B81C 99/002; H01L 21/67 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2023/063826 (87) Numéro de publication internationale: WO 2023/227621 (30.11.2023 Gazette  2023/48)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 23.05.2022 FR 2204924 (71) Demandeur: C12 Quantum Electronics 75005 Paris (FR)	(72) Inventeurs: SULPIZIO, Joey 75013 PARIS (FR) LE GOFF, Romaric 92120 MONTROUGE (FR) (74) Mandataire: IP Trust  2, rue de Clichy 75009 Paris 75009 Paris (FR)