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EP 4 533 080 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 09.04.2025  Patentblatt  2025/15 (21) Anmeldenummer: 23730007.4 (22) Anmeldetag:  25.05.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 29/14(2006.01) G01N 21/958(2006.01) G01N 29/34(2006.01) G01N 29/44(2006.01) G02B 26/08(2006.01) G01M 11/00(2006.01) G01N 29/24(2006.01) G01N 29/42(2006.01) G02B 7/00(2021.01) G03F 7/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G01N 29/14; G01N 29/2418; G01N 29/2437; G01N 29/341; G01N 29/42; G01N 29/4436; G01N 2291/2698; G01M 11/005; G01N 21/958; G02B 7/008; H05G 2/008; G01N 2021/1706; G01M 11/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/064128 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/232652 (07.12.2023 Gazette  2023/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 01.06.2022 DE 102022205579 (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: PIEHLER, Stefan 70569 Stuttgart (DE) REGAARD, Boris 70499 Stuttgart (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)