(19)

(11)

EP 4 533 511 A1

(12)

(43) Date de publication: 09.04.2025  Bulletin  2025/15 (21) Numéro de dépôt: 23729998.7 (22) Date de dépôt:  25.05.2023

(51) Int. Cl.:  H01J 37/301(2006.01) H01J 37/18(2006.01) H01J 37/32(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01J 37/301; H01J 2237/3137; H01J 2237/3114; H01J 2237/06366; H01J 37/3233; H01J 2237/182; H01J 2237/188 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2023/064077 (87) Numéro de publication internationale: WO 2023/232640 (07.12.2023 Gazette  2023/49)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 30.05.2022 FR 2205110 (71) Demandeur: Cameca 92230 Genneviliiers (FR)	(72) Inventeur: SORTAIS, Pascal 38600 FONTAINE (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beaumont  4, Place Robert Schuman B.P. 1529 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)