(19)

(11)

EP 4 533 532 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.04.2025  Patentblatt  2025/15 (21) Anmeldenummer: 22737755.3 (22) Anmeldetag:  03.06.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/6835; H01L 2221/68318; H01L 2221/68381 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/065227 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/232264 (07.12.2023 Gazette  2023/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: POVAZAY, Boris 4782 St. Florian am Inn (AT) (74) Vertreter: Kaldewey, Tim Merlin et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)