| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT
NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
30.05.2022 DE 102022205360
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| (71) |
Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor
Manufacturing GmbH |
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71254 Ditzingen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- PIEHLER, Stefan
70569 Stuttgart (DE)
- REGAARD, Boris
70499 Stuttgart (DE)
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| (74) |
Vertreter: Trumpf Patentabteilung |
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Trumpf SE + Co. KG
TH550 Patente und Lizenzen
Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE) |
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