(19)

(11)

EP 4 540 645 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.04.2025  Patentblatt  2025/17 (21) Anmeldenummer: 22733460.4 (22) Anmeldetag:  17.06.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G02B 26/08(2006.01) G02B 26/06(2006.01) G02B 27/00(2006.01) G02B 7/182(2021.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G02B 27/0025; G02B 26/0875; G02B 26/0825; G02B 7/1825; G02B 27/0068; G02B 26/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/066608 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/241813 (21.12.2023 Gazette  2023/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: LAMBERT, Martin 71404 Korb (DE) ERGIN, Tolga 74321 Bietigheim-Bissingen (DE) HOPF, Andreas 70372 Stuttgart (DE) WÄGERLE, Jens 74366 Kirchheim (DE) SCHLOSSER, Oliver 70794 Filderstadt (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)