(19)

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EP 4 540 662 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.04.2025  Patentblatt  2025/17 (21) Anmeldenummer: 23734471.8 (22) Anmeldetag:  09.06.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/00(2006.01) G02B 7/18(2021.01) G02B 27/00(2006.01) G02B 5/08(2006.01) G02B 17/06(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/70891; G03F 7/70258; G03F 7/70233; G02B 17/0647; G02B 7/1815; G02B 5/0891; G02B 27/0068 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/065477 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/242060 (21.12.2023 Gazette  2023/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 14.06.2022 DE 102022114969 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder: LANGENHORST, Malte 73430 Aalen (DE) WEISS, Werner 89073 Ulm (DE) LETSCHER, Fabian 73447 Oberkochen (DE) MACK, Ruediger 73447 Oberkochen (DE) TEUBER, Lucas 73431 Aalen (DE) DIRAUF, André 73434 Aalen (DE) WAELDCHEN, Felix 73434 Aalen (DE) (74) Vertreter: Frank, Hartmut  Bonsmann Bonsmann Frank Patentanwälte Reichspräsidentenstraße 21-25 45470 Mülheim a. d. Ruhr 45470 Mülheim a. d. Ruhr (DE)