(19)
(11) EP 4 544 583 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
30.11.2023

(43) Veröffentlichungstag:
30.04.2025  Patentblatt  2025/18

(21) Anmeldenummer: 23748313.6

(22) Anmeldetag:  27.06.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67057; H01L 21/67028
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2023/056633
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/199296 (19.10.2023 Gazette  2023/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 27.06.2022 DE 102022115969

(71) Anmelder: Epple, Ernst
78315 Radolfzell (DE)

(72) Erfinder:
  • Epple, Ernst
    78315 Radolfzell (DE)

(74) Vertreter: Heisel, Wolfgang 
HEISEL Patente Marken Designs Rebbergstraße 20d
78464 Konstanz
78464 Konstanz (DE)

   


(54) HEBE- UND HALTEEINRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON MINDESTENS EINEM IN EINEM TRÄGERELEMENT ANGEORDNETEN SUBSTRAT SOWIE VERFAHREN MIT EINER SOLCHEN HEBE- UND HALTEEINRICHTUNG