(19)
(11) EP 4 544 791 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.04.2025  Patentblatt  2025/18

(21) Anmeldenummer: 23734545.9

(22) Anmeldetag:  20.06.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H04R 19/00(2006.01)
H04R 31/00(2006.01)
B81C 1/00(2006.01)
H04R 17/00(2006.01)
H04R 7/14(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H04R 19/005; H04R 17/005; H04R 31/00; H04R 7/14; H04R 2201/003; B81C 99/0085; B81B 2201/0257; B81C 1/00634; B81B 2201/032
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/066534
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/247473 (28.12.2023 Gazette  2023/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.06.2022 EP 22180086

(71) Anmelder: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
70569 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BITTNER, Achim
    74080 Heilbronn (DE)
  • KELLER, Steffen
    78462 Konstanz (DE)
  • BECKER, Dennis
    78166 Donaueschingen (DE)
  • DEHÉ, Alfons
    72770 Reutlingen (DE)

(74) Vertreter: Hertin und Partner Rechts- und Patentanwälte PartG mbB 
Kurfürstendamm 63
10707 Berlin
10707 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEMS-WANDLERS UNTER NUTZUNG EINER VERSTRECKUNG EINES AKTUATORMATERIALS