(19)
(11) EP 4 547 887 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.02.2024

(43) Veröffentlichungstag:
07.05.2025  Patentblatt  2025/19

(21) Anmeldenummer: 23735294.3

(22) Anmeldetag:  26.06.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/46(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
 C23C 16/52(2006.01)
C23C 16/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/46; C23C 16/52; C23C 16/325; H01L 21/67115; H01L 21/67109; H01L 21/6719; H01L 21/67248
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/067302
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/002961 (04.01.2024 Gazette  2024/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 29.06.2022 DE 102022002350

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • LÄPPLE, Karl-David
    58336 Linköping (SE)
  • KORDINA, Olof Claes Erik
    583 91 Vikingstad (SE)
  • ERIKSSON, Martin
    591 78 Klockrike (SE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN EINES SUBSTRATES