(19)
(11) EP 4 554 891 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.05.2025  Patentblatt  2025/21

(21) Anmeldenummer: 23742038.5

(22) Anmeldetag:  12.07.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B81C 1/00666; B81C 2201/0132; B81C 2201/0112; B81C 2201/0126; B81C 2201/0169; B81B 2201/042; B81B 2203/0154; B81B 2203/0109; B81B 2201/032; B81C 1/00063
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/069360
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/013250 (18.01.2024 Gazette  2024/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 14.07.2022 DE 102022117679

(71) Anmelder: OQmented GmbH
25524 Itzehoe (DE)

(72) Erfinder:
  • SENGER, Frank
    25560 Hadenfeld (DE)
  • MARAUSKA, Stephan
    24568 Kaltenkirchen (DE)
  • HOFMANN, Ulrich
    25524 Itzehoe (DE)

(74) Vertreter: LeoBlu Patentanwälte Rolinec Winter PartG mbB 
Löwengrube 10
80333 München
80333 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTAUFBAUS FÜR EINE MEMS-VORRICHTUNG UND MEMS-VORRICHTUNG MIT EINEM DERARTIGEN SCHICHTAUFBAU