(19)
(11) EP 4 555 359 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.05.2025  Patentblatt  2025/21

(21) Anmeldenummer: 23741039.4

(22) Anmeldetag:  11.07.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 5/18(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G02B 5/1857; G02B 5/1876
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/069170
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/013160 (18.01.2024 Gazette  2024/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 13.07.2022 DE 102022207138

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • WINKLER, Alexander
    89520 Heidenheim (DE)
  • SCHÜTT, Michael
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB 
Königstraße 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR CHARAKTERISIERUNG EINES DIFFRAKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DIFFRAKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS UNTER DURCHFÜHRUNG DES CHARAKTERISIERUNGS-VERFAHRENS