(19)
(11) EP 4 558 449 A1

(12)

(43) Date de publication:
28.05.2025  Bulletin  2025/22

(21) Numéro de dépôt: 23744798.2

(22) Date de dépôt:  20.07.2023
(51) Int. Cl.: 
B81C 1/00(2006.01)
H10N 30/01(2023.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H10N 30/308; H10N 30/853; H10N 30/01; B81C 2201/0133; B81C 2201/0132; B81C 1/00158; B81C 2201/0177
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2023/070221
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2024/018032 (25.01.2024 Gazette  2024/04)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 21.07.2022 FR 2207509

(71) Demandeurs:
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75016 Paris (FR)
  • UNIVERSITE DE MONTPELLIER
    34090 Montpellier (FR)

(72) Inventeurs:
  • CARRETERO, Adrien
    38400 CLAPIERS (FR)
  • SANCHEZ FUENTES, David
    34090 MONTPELLIER (FR)
  • JOLLY, Claire
    34090 MONTPELLIER (FR)
  • GARCIA, Ricardo
    38830 CLAPIERS (FR)
  • DESGARCEAUX, Rudy
    34080 MONTPELLIER (FR)

(74) Mandataire: Brevalex 
Tour Trinity 1 B Place de la Défense
92400 Courbevoie
92400 Courbevoie (FR)

   


(54) MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE SOUS FORME DE MEMBRANE RESONANTE PIEZOELECTRIQUE A BASE D'UNE COUCHE DE QUARTZ-ALPHA ET PROCEDE DE FABRICATION