(19)
(11) EP 4 558 787 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.05.2025  Patentblatt  2025/22

(21) Anmeldenummer: 23745159.6

(22) Anmeldetag:  21.07.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/06(2006.01)
 G01N 21/21(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01B 11/0641; G01N 21/211
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/070306
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/018064 (25.01.2024 Gazette  2024/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 22.07.2022 DE 102022118379

(71) Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN
1040 Wien (AT)

(72) Erfinder:
  • BAMMER, Ferdinand
    1040 Wien (AT)
  • HUEMER, Florian Ferdinand
    1040 Wien (AT)

(74) Vertreter: Winter, Brandl - Partnerschaft mbB 
Alois-Steinecker-Straße 22
85354 Freising
85354 Freising (DE)

   


(54) ABBILDENDES ELLIPSOMETER ZUR FLÄCHIGEN SCHICHTDICKENMESSUNG EINER PROBE UND VERFAHREN MIT EINEM ABBILDENDEN ELLIPSOMETER