(19)

(11)

EP 4 562 475 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.06.2025  Patentblatt  2025/23 (21) Anmeldenummer: 23745117.4 (22) Anmeldetag:  18.07.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/00(2006.01) G02B 5/09(2006.01) G02B 5/08(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/70075; G02B 5/09; G03F 7/702; G03F 7/70825 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/069935 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2024/022899 (01.02.2024 Gazette  2024/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 25.07.2022 DE 102022207546 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: AMELING, Ralf 73434 Aalen (DE) (74) Vertreter: Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB  Königstraße 2 90402 Nürnberg 90402 Nürnberg (DE)