| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT
NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
12.08.2022 DE 102022120482
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| (71) |
Anmelder: |
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- TRUMPF Lasersystems for Semiconductor
Manufacturing GmbH
71254 Ditzingen (DE)
- TRUMPF Laser GmbH
78713 Schramberg (DE)
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| (72) |
Erfinder: |
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- HOECK, Helge
72186 Empfingen (DE)
- WERNER, Fabian
78655 Dunningen (DE)
- DOETTLING, Juergen
78713 Schramberg (DE)
- GRAF, Markus
78112 St. Georgen (DE)
- HARTMANN, Matthias
78628 Rottweil (DE)
- JAZUK, Sergej
78628 Rottweil (DE)
- WEISSHAAR, Ullrich
78056 Villingen-Schwenningen (DE)
- LAMBERT, Martin
71404 Korb (DE)
- ANGUITA LORENZ, André
75242 Neuhausen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Trumpf Patentabteilung |
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Trumpf SE + Co. KG
TH550 Patente und Lizenzen
Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE) |
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