(19)
(11) EP 4 569 297 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.06.2025  Patentblatt  2025/25

(21) Anmeldenummer: 23757872.9

(22) Anmeldetag:  11.08.2023
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 9/02(2022.01)
G01M 11/02(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01B 9/02039; G01B 2290/55; G01B 11/24; G01M 11/0271
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2023/072300
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/033526 (15.02.2024 Gazette  2024/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 11.08.2022 DE 102022120283

(71) Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MANTEL, Klaus
    91083 Baiersdorf (DE)
  • CHEKHOVA, Maria
    80799 München (DE)

(74) Vertreter: Hafner & Kohl PartmbB 
Schleiermacherstraße 25
90491 Nürnberg
90491 Nürnberg (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN PRÜFUNG VON OPTISCHEN FLÄCHEN