(19)

(11)

EP 4 581 188 A1

(12)

(43) Date de publication: 09.07.2025  Bulletin  2025/28 (21) Numéro de dépôt: 23772301.0 (22) Date de dépôt:  29.08.2023

(51) Int. Cl.:  C23C 18/12(2006.01) C01F 7/448(2022.01) C01B 13/36(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : C23C 18/1216; C23C 18/1279; C23C 18/1291 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2023/051306 (87) Numéro de publication internationale: WO 2024/047311 (07.03.2024 Gazette  2024/10)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 30.08.2022 FR 2208650 (71) Demandeurs: SAFRAN 75015 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR) UNIVERSITE DE BORDEAUX 33000 Bordeaux (FR) Institut Polytechnique de Bordeaux 33400 Talence (FR)

(72) Inventeurs: CAVARROC, Marjorie, Christine 77550 Moissy-Cramayel (FR) PEIGNEY, Erwan 75016 Paris (FR) AYMONIER, Cyril 33130 Bègles (FR) AUBERT, Guillaume 33600 Pessac (FR) POULON, Angélique, Nadine, Jeanne 33460 Arsac (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beau de Loménie  103, rue de Grenelle 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)