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EP 4 581 663 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 09.07.2025  Patentblatt  2025/28 (21) Anmeldenummer: 23764303.6 (22) Anmeldetag:  30.08.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/285(2006.01) H01L 29/778(2006.01) H01L 21/268(2006.01) H01L 29/45(2006.01) H01L 29/868(2006.01) H01L 21/324(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/28575; H01L 21/268; H10D 62/149; H10D 62/8503; H10D 30/4755; H10D 8/50; H10D 8/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/073821 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2024/047119 (07.03.2024 Gazette  2024/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 01.09.2022 DE 102022209112 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: DIETZ, Frank 25524 Itzehoe (DE) MENSING, Michael 25524 Itzehoe (DE) ZÜGE, Heiko 25524 Itzehoe (DE) (74) Vertreter: Miller, Bastian et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Radlkoferstraße 2 81373 München 81373 München (DE)