(19)
(11) EP 4 581 664 A1

(12)

(43) Date de publication:
09.07.2025  Bulletin  2025/28

(21) Numéro de dépôt: 23783464.3

(22) Date de dépôt:  23.08.2023
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/304(2006.01)
 B24B 7/22(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/304
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2023/051286
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2024/047305 (07.03.2024 Gazette  2024/10)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 01.09.2022 FR 2208794

(71) Demandeur: SOITEC
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • ALASSAAD, Kassem
    38190 BERNIN (FR)
  • MONNOYE, Sylvain
    73370 LE BOURGET DU LAC (FR)
  • MOISSON, Catherine
    73370 LE BOURGET DU LAC (FR)
  • ROUCHIER, Séverin
    38190 BERNIN (FR)
  • BERRE, Guillaume
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCEDE DE PREPARATION DE LA FACE AVANT D'UNE PLAQUE DE CARBURE DE SILICIUM POLYCRISTALLIN