(19)

(11)

EP 4 581 668 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.07.2025  Patentblatt  2025/28 (21) Anmeldenummer: 22770020.0 (22) Anmeldetag:  02.09.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/6838; H01L 21/68785; H01L 21/67092 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/074472 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2024/046578 (07.03.2024 Gazette  2024/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: WIMPLINGER, Markus 4782 St. Florian am Inn (AT) (74) Vertreter: Kaldewey, Tim Merlin et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)