(19)
(11) EP 4 584 811 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.07.2025  Bulletin  2025/29

(21) Numéro de dépôt: 23777324.7

(22) Date de dépôt:  05.09.2023
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/02(2006.01)
H01L 21/304(2006.01)
 H01L 21/762(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 21/76254; H01L 21/304
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2023/051336
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2024/052617 (14.03.2024 Gazette  2024/11)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 06.09.2022 FR 2208892

(71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • CASTAN, Clément
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • DECHAMP, Jérôme
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • BALLY, Laurent
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • SANCHEZ, Loic
    38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR)
  • FOURNEL, Frank
    38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR)

(74) Mandataire: Brevalex 
Tour Trinity 1 B Place de la Défense
92400 Courbevoie
92400 Courbevoie (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE POUR LE TRANSFERT DE PUCES