(19)

(11)

EP 4 584 818 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.07.2025  Patentblatt  2025/29 (21) Anmeldenummer: 23797671.7 (22) Anmeldetag:  12.10.2023

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/24(2006.01) H01L 23/20(2006.01) H01L 23/48(2006.01) H01L 23/36(2006.01) H01L 23/053(2006.01) H01L 23/22(2006.01) H01L 23/373(2006.01) H01L 25/07(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 23/053; H01L 23/24; H01L 23/20; H01L 25/072; H01L 23/36; H01L 24/72; H01L 23/22; H01L 23/3735 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2023/078383 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2024/114991 (06.06.2024 Gazette  2024/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 30.11.2022 EP 22210598 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: NEUGEBAUER, Stephan 91058 Erlangen (DE) RAAB, Oliver 94496 Ortenburg (DE) RADÜGE, Christian 90425 Nürnberg (DE) STEGMEIER, Stefan 81825 München (DE) WAGNER, Claus Florian 90425 Nürnberg (DE) WOITON, Michael 90425 Nürnberg (DE) (74) Vertreter: Siemens Patent Attorneys  Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)