(19)
(11) EP 4 681 243 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.01.2026  Patentblatt  2026/04

(21) Anmeldenummer: 24714781.2

(22) Anmeldetag:  18.03.2024
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/32091; H01J 37/32165; H01J 37/3244; H01J 37/32834; H01J 37/32449
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2024/100223
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2024/193763 (26.09.2024 Gazette  2024/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
GE KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.03.2023 DE 102023106821

(71) Anmelder: Wege, Stephan
01728 Bannewitz-Cunnersdorf (DE)

(72) Erfinder:
  • Wege, Stephan
    01728 Bannewitz-Cunnersdorf (DE)

(74) Vertreter: Weisse, Moltmann & Willems PartGmbB 
Am Lomberg 13
42555 Velbert
42555 Velbert (DE)

   


(54) PROZESSREAKTOR UND VEFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG VON STRUKTUREN AUF EINEM SUBSTRAT