(19)

(11)

EP 4 681 244 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.01.2026  Bulletin  2026/04 (21) Numéro de dépôt: 24715676.3 (22) Date de dépôt:  13.03.2024

(51) Int. Cl.:  H01J 37/32(2006.01) C23C 16/511(2006.01) C23C 16/27(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01J 37/32201; H01J 37/32284; H01J 37/32311; H01J 37/32935; H01J 37/3299; C23C 16/511; C23C 16/274; C23C 16/52 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2024/050300 (87) Numéro de publication internationale: WO 2024/189290 (19.09.2024 Gazette  2024/38)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA Etats de validation désignés: GE KH MA MD TN (30) Priorité: 15.03.2023 FR 2302414 (71) Demandeur: Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes 69150 Decines Charpieu (FR)

(72) Inventeurs: LATRASSE, Louis 69380 Châtillon (FR) MEHMEL, Lahcene 69500 Bron (FR) (74) Mandataire: Germain Maureau  12, rue Boileau 69006 Lyon 69006 Lyon (FR)