(19)

(11)

EP 4 681 252 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.01.2026  Patentblatt  2026/04 (21) Anmeldenummer: 24720111.4 (22) Anmeldetag:  16.04.2024

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) H01L 31/0224(2006.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 21/683(2006.01) H01L 31/0216(2014.01) H01L 21/56(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/6835; H01L 21/67326; H01L 21/67346; H01L 2221/68313; H10F 71/129 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2024/060229 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2024/235541 (21.11.2024 Gazette  2024/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: GE KH MA MD TN (30) Priorität: 16.05.2023 DE 102023112827 (71) Anmelder: Singulus Technologies AG 63796 Kahl am Main (DE)	(72) Erfinder: MAY, Frank 60326 Frankfurt (DE) (74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB  Siebertstrasse 3 81675 München 81675 München (DE)